應變壓力傳感器常見的幾種類別
組合式
組合式應變壓力傳感器中,其彈性敏感元件可分為感觸元件和彈性應變元件。其中,感觸元件把壓力轉(zhuǎn)換為力傳遞到彈性應變元件應變zui敏感的部位,而應變片則貼在彈性應變元件的zui大應變處。實踐上,較龐雜的應變管式和應變梁式都屬于這種型式。
感觸元件有膜片、膜盒、波紋管、波登管等,彈性應變元件有懸臂梁、固定梁、Π形梁、環(huán)形梁、薄壁筒等。它們之間可依據(jù)不同須要組合成多種型式。應變式壓力傳感器重要用來測量流動介質(zhì)動態(tài)或動態(tài)壓力,例如能源管道裝備的進出口吻體或液體的壓力、內(nèi)燃機管道壓力等等。
膜片式
它的彈性敏感元件為周邊固定圓形金屬平膜片。膜片受壓力變形時,中央處徑向應變和切向應變均到達正的zui大值,而邊沿處徑向應變到達負的zui大值,切向應變?yōu)榱恪R蚨0褍蓚€應變片分別貼在正負zui大應變處,并接成相鄰橋臂的半橋電路以取得較大敏銳度和溫度彌補作用。采取圓形箔式應變計(見電阻應變計)則能zui大限度地應用膜片的應變后果,這種傳感器的非線性較明顯。膜片式壓力傳感器的產(chǎn)品是將彈性敏感元件和應變片的作用集于單晶硅膜片一身,即采取集成電路工藝在單晶硅膜片上分散制造電阻條,并采取周邊固定構(gòu)造制成的固態(tài)壓力傳感器(見壓阻式傳感器).
應變管式
應變管式亦稱應變筒式,它的彈性敏感元件為一端關(guān)閉的薄壁圓筒,其另一端帶有法蘭與被測體系銜接。在筒壁上貼有2片或4片應變片,其中一半貼在實心局部作為溫度彌補片,另一半作為測量應變片。當沒有壓力時4片應變片組成均衡的全橋式電路;當壓力作用于內(nèi)腔時,圓筒變造成“腰鼓形”,使電橋失去均衡,輸入與壓力成肯定關(guān)系的電壓。
應變梁式
測量較小壓力時,可采取固定梁或等強度梁的構(gòu)造。一種方式是用膜片把壓力轉(zhuǎn)換為力再通過傳力桿傳遞給應變梁,兩端固定梁的zui大應變處在梁的兩端和中點,應變片就貼在這些中央。這種構(gòu)造還有其余情勢,例如可采取懸梁與膜片或波紋管造成。
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